电阻式压力传感器调研报告

电阻式压力传感器调研报告

问:压阻式传感器的发展状况
  1. 答:1954年C.S.史密腊中链斯详细研究了硅的压阻效应,从此开始用硅制造压力传感器。早期的硅压力传感器是半导体应变计式的。后来在 N型硅片上定域扩散P型杂质形成电阻条,并培搏接成电桥,制成芯片。此芯片仍需粘贴在弹性元件上才能敏感压力的变化。采用这种芯片作为敏感元件的传感器称为扩散型压力传感器。这两种传感器都同样采用粘片结构,因而存在滞后和蠕变大、固有频率低、不适于动态测量以及难于小型化和集成化、精度不高等缺点。70年代以来制成了周边固定支撑的电阻和硅膜片的一体化硅杯式扩散型压力传感器。它不仅克服了粘片结构的固有缺陷,而且能将电阻条、补偿电路和信号调整电路集成在一块硅片上,甚至将微型处理器与传感器集成在一起,制成智能传感器(见单片微型计算机)。这种新型传感器的优点是:①频率响应高(例如有的产品固有频率达1.5兆赫以上),适于动态测量;②体积小(例如有的产品外径可达0.25毫米),适于微型化;轮孙③精度高,可达0.1~0.01%;④灵敏高,比金属应变计高出很多倍,有些应用场合可不加放大器;⑤无活动部件,可靠性高,能工作于振动、冲击、腐蚀、强干扰等恶劣环境。其缺点是温度影响较大(有时需进行温度补偿)、工艺较复杂和造价高等。
问:压力传感器是什么?压力传感器工作原理和种类介绍
  1. 答:压力传感器是将压力转换为电信号输出的传感器。通常把压力测量仪表中的电测式仪表称为压力传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏宽模感元件(或应变计)组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换为位移或应变,然后由位移敏感元件或应变计转换为与压力成一定关系的电信号。有时把这两种元件的功能集于一体闭嫌,如压阻式传感器中的固态压力传感器。
    压力是生产过程和航天、航空、国防工业中的重要过程参数,不仅需要对它进行快速动态测量,而且还要将测量结果作数字化显示和记录。大型炼油厂、化工厂、发电厂和钢铁厂等的自动化还需要将压力参数远距离传送,并要求把压力和其他参数,如温度、流量、粘度等一轿巧手起转换为数字信号送入计算机。因此压力传感器是极受重视和发展迅速的一种传感器。
    压力传感器的发展趋势是进一步提高动态响应速度、精度和可靠性以及实现数字化和智能化等。
    常用压力传感器有电容式压力传感器、变磁阻式压力传感器、霍耳式压力传感器、光纤式压力传感器、谐振式压力传感器等。
问:电阻式传感器测压力的原理
  1. 答:电阻式一般是由在同一个平面上不同方向的4个电阻组成,利用传感器受到判慎迅压力时不同方向上电阻的阻值的变化不同,输出的电压与压力成线性变化的原理来实现的。
    电阻式压力传感器常见的掘此有两大类,一类是陶瓷压阻式孝孙传感器,另一类是扩散硅压阻式传感器。
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