磁控溅射论文

宽带隙立方氮化硼薄膜的制备

一、宽带隙立方氮化硼薄膜制备（论文文献综述）刘彩云[1]（2021）在《高质量立方氮化硼薄膜的射频磁控溅射制备及其半导体性能探索》文中研究说明立方氮化硼（c-BN）,是一种人工...