等离子体论文

高重复率紧凑型等离子软 X 射线源

一、高重复率紧凑型等离子体软X射线源（论文文献综述）窦银萍[1]（2015）在《6.7nm输出波长Gd靶激光等离子体极紫外光源的研究》文中指出极紫外光刻技术是制造特征尺寸小于2...