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基于SOI衬底加工的微电场传感器研究(英文)
一、基于SOI衬底加工的微型电场传感器研究(英文)(论文文献综述)李鹏[1](2020)在《基于多电场传感器的交流电场源定位方法研究》文中研究说明传统采用电场传感器实现电力安全...