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宽带隙立方氮化硼薄膜的制备
一、宽带隙立方氮化硼薄膜制备(论文文献综述)刘彩云[1](2021)在《高质量立方氮化硼薄膜的射频磁控溅射制备及其半导体性能探索》文中研究说明立方氮化硼(c-BN),是一种人工...